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广州南沙氩气提纯方法

第一种

直接进行脱氧法。即在中国广州南沙用活性研究金属与氩气中的氧气发生反应，消化氩气中的氧气，从而可以达到一个脱氧的目的。分子筛吸收氩气中的水分，使氩气中的水分信息含量明显小于1ppm。

第二种类型

使用getter。 在一定温度下，该吸气剂可吸收来自广州南沙的氮气、氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体。 经吸附,氩的纯度可达6.9％。 该保护气体更适于制造高纯度半导体单晶硅。

用吸气剂提纯氩纯度:

氧气≤0.2ppm

H2≤0.5ppm

N2≤1ppm

一氧化碳+二氧化碳≤0.5ppm

CH4≤0.5ppm

水分≤1ppm

进行设备企业投资小，设备中脱氧剂的使用网络寿命问题一般在四年以上。

可根据客户要求配备分析仪在线检测气体纯度的设备。

氩气在广州南沙的使用

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