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高纯气体管道系统及其附件的材料进行选择

高纯气体管道中的所有高纯净气体必须通过管道输送到仪器的使用点（POU）,除气体产生或净化设备的精度外，它还在很大程度上受到管道系统的许多因素的影响。 因此，管道的选择应符合相关行业原则，并注明管道。

高纯气体的管道输送，合理设计供气系统，正确选择管件和附件，正确安装和合格试验，是输送高纯气体到气点、保证质量的关键，而且对生产过程中产生的高纯度气体也有具体的要求。从微米工艺到亚微米和深亚微米（小于0.35 g. m）工艺，需要达到10 ppm，因此，管道材料的特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

1.透气性

气体从高压（或分压）侧向低压（或分压）侧渗透的现象问题称为气体进行渗透。由于环境空气中氧和氮的分压最大，气体以及分子水平相对规模较小，所以对于管道施工材料对气体的渗透性研究主要表现为氧和氮的渗透性。一般企业来说，对氧气渗透性的测试有很多。不同学习材料的氧气渗透率（ppm）材料在大气中的氧气渗透率。不锈钢管O铜管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管203从表中可以明显看出，如果需要我们自己选择一些不合格的管道工程材料管理不当，无论现在我们应该采取学生什么方法净化技术措施发展都是没有用的。

2.除气率

在熔炼过程中形成的管材料的晶间或晶格中存在的杂质如氮、烃等。 在输送高纯度气体期间，这些杂质缓慢释放并污染高纯度气体，特别是杂质高于ppb的那些。 通常，低碳不锈钢管具有非常低的除气速率。

3.吸附

因为水和其他杂质是极性分子，它们具有很强的吸附性，因此在输送高纯度气体污染时很容易使用这些材料。除了用于输送低于百万分之一百万以下的氧气的铜管外，高纯度气体不使用铜管和塑料管。橡胶或塑料材料（包括聚四氟乙烯）不得用于气体接触到的垫圈和填充物。

4.表面进行粗糙度和耐磨性

为了能够保证企业输送气体的纯度，要求进行管道施工材料的内表面形成具有一个非常高的光洁度，可以有效防止环境污染土壤颗粒和水分停留在管壁上，并且在吹扫时很容易被吹出。

5.耐蚀性

在微电子生产中，经常使用一些高腐蚀性气体。 此时必须使用耐腐蚀的管道，否则管道会被腐蚀。 轻薄的表面会出现锈点，重的管道会出现大面积的剥离穿孔，不仅污染气体，还会导致安全事故。

6.内表面处理

为了提高管道材料的性能，数据和实践证明，表面处理后。管子的粗糙度降低了。通货紧缩率降低。表面的吸附容量减小。

7.管道材料和连接

纯度在99.99％以内的气体管道应采用10 ＃或20 ＃无缝钢管（镀锌或净化内表面）和铜管。镀锌管通过螺纹连接，这些管子是通过焊接连接起来的。可以使用对焊、承插焊或套筒焊，管道焊接连接，内壁无疤对焊，在专用洁净室进行高纯氩气保护焊。

8.管道阀门和连接

气体进行管道中常用球阀、隔膜阀和波纹管阀，根据不同气体产品纯度、毒性和易燃易爆性的要求我们选择一个合适的阀门，可采用这种法兰之间连接。法兰垫片是软金属或者垫片和聚四氟乙烯垫片。